SM5420壓力傳感器在進(jìn)氣歧管壓力傳感器的應(yīng)用

詳細(xì)內(nèi)容： 進(jìn)氣歧管絕對壓力傳感器（Manifold Absolutely Pressure Sensor,MAP）也稱進(jìn)氣壓力傳感器用于D型汽油噴射系統(tǒng),它在汽油噴射系統(tǒng)中所起的作用是測量進(jìn)氣量從而決定噴油量。進(jìn)氣歧管絕對壓力傳感器根據(jù)發(fā)動機(jī)的負(fù)荷狀態(tài)測出進(jìn)氣歧管內(nèi)絕對壓力(真空度)的變化,并轉(zhuǎn)換成電壓信號,與轉(zhuǎn)速信號一起輸送到發(fā)動機(jī)電控單元(ECU),作為確定噴油器基本噴油量的依據(jù).在當(dāng)今發(fā)動機(jī)電子控制系統(tǒng)中,應(yīng)用最為廣泛的是半導(dǎo)體壓敏電阻式進(jìn)氣歧管壓力傳感器,下面介紹其結(jié)構(gòu)原理及工作原理 結(jié)構(gòu)原理：半導(dǎo)體壓敏電阻式進(jìn)氣歧管絕對壓力傳感器，其壓力轉(zhuǎn)換元件是利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)制成的硅膜片。硅膜片的一面是真空室，另一面導(dǎo)入進(jìn)氣歧管壓力。硅膜片約為3mm的正方形，其中部經(jīng)光刻腐蝕形成直徑約2mm、厚約50mm的薄膜，薄膜周圍有4個應(yīng)變電阻，以單臂電橋方式連接。由于薄膜一側(cè)是真空室，因此薄膜的另一側(cè)即進(jìn)氣歧管內(nèi)絕對壓力越高，硅膜片的變形越大，其應(yīng)變與壓力成正比，附著在薄膜上的應(yīng)變電阻的阻值隨應(yīng)變成正比地變化，這樣就可以利用單臂電橋?qū)⒐枘て�的變形變成電信號。因為輸出的電信號很微弱，所以需用混合集成電路進(jìn)行放大后輸出。這種壓阻式進(jìn)氣壓力傳感器輸出的信號電壓，具有隨進(jìn)氣歧管絕對壓力的增大呈線性增大的特性。 壓敏電阻式進(jìn)氣壓力傳感器的工作原理：由應(yīng)變電阻R1、R2、R3、R4,它們構(gòu)成惠斯頓電橋并與硅膜片粘接在一起。硅膜片在歧管內(nèi)的絕對壓力作用下可以變形，從而引起應(yīng)變電阻R阻值的變化，歧管內(nèi)的絕對壓力越高，硅膜片的變形越大，從而電阻R的阻值變化也越大。即把硅膜片機(jī)械式的變化轉(zhuǎn)變成了電信號，再由集成電路放大后輸出至ECU。 SM5420絕壓型壓力傳感器：SM5420是一種小型的SO - 8封裝的絕壓型壓力傳感器。該產(chǎn)品是美國SMI的產(chǎn)品，它在SM5108傳感芯片的基礎(chǔ)上進(jìn)行優(yōu)化，其精準(zhǔn)度更高，并對其包裝方式進(jìn)行改進(jìn)，采用了單個小包裝方式。該產(chǎn)品采用MEMS的生產(chǎn)工藝和高性能測試方法，從而最大限度保障其工作穩(wěn)定性，已保證其優(yōu)越的性能，。具有靈敏度高、動態(tài)響應(yīng)好、精度高、易于微型化和集成化等特點，因而該傳感器已大批量應(yīng)用于成本較低的領(lǐng)域。其中在進(jìn)氣歧管絕對壓力傳感器方面SM5420芯片就得到了典型的廣泛應(yīng)用！ 。 SM5420工作特性及規(guī)格： 參數(shù) 最小值 標(biāo)準(zhǔn) 最大值 單位 激勵 電壓 0 5.0 15 V 電流 0 1.5 2.5 mA 輸出**psi(kpa) 15(103) 65 100 135 mV 30(207) 65 100 135 mV 60(414) 65 100 135 mV 100(689) 65 100 135 mV 零壓 -35 0 35 mV 溫度系數(shù) 滿量程*** -24 -19 -15.5 %FS/100℃ 零點*** -7 -1 +7 %FS/100℃ 阻抗 +24 +27.5 +33 %FS/100℃ 線性精度*** -0.3 ±0.05 0.3 %FS 橋臂阻抗 2.7 3.15 4.0 KΩ 輸入電容 <2 PF 耐力 3X 瞬間壓力 5X 溫度范圍 使用 -40 125 ℃ 儲存 -55 150 ℃ Vexc=5.0 T=室溫 備注： * 電橋可采用正壓或負(fù)壓驅(qū)動；正壓驅(qū)動輸出正信號 ** 恒壓5V激勵下測量 *** 0~70℃范圍內(nèi)測量 深圳市藍(lán)之宇電子有限公司 http://www.mems-sensor.com.cn T:0755-86372101